自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計

簡要描述：自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計：
-- 直通式設計，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。
-- 精確度高、重復性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。
-- 標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、穩定、可靠的壓力測量和控制。
該數字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。
-- 除了配備標準的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

產品型號：ACU20PC-LH
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-07-07
訪問量：2821

產品咨詢聯系我們

產品分類

數控電子壓力控制器EPC

壓力計單閥壓力控制器雙閥壓力控制器高精度單閥壓力控制器查看全部產品

詳細介紹

一、自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產品特點：

-- 測量范圍從10Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。

-- 精確度高、重復性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。

-- 標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、穩定、可靠的壓力測量和控制。

該基本數字PC具有測量和控制所需的所有基本功能。

-- 除了配備標準的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩控制的特性。

我們有不同系列的控制閥對應特定的應用領域。常規應用使用標準的直接操控閥，高流速應用使用先導閥。

二、應用領域：

-- 半導體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護控制，高壓釜/反應釜壓力控制等。

三、自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產品參數：（如所需參數與下述列舉不同，請另行溝通咨詢）

技術參數	精度(包括線性和滯后性)	≤±0.5%F.S
	壓力量程比	壓力計	1:100
		壓力控制器	1:50
	重復性	≤0.1%
	傳感器響應時間	0.2s
	控制穩定性	≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2)
	運行溫度	-10~+70℃
	溫度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影響度（90°變化）	＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器）
		＜0.6 KPa（差壓傳感器）
	預熱時間	忽略不計

機械部件	材質	不銹鋼
	工藝連接	G3/8"
	密封材質	氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他
	防護等級（外殼）	IP40

電氣特性	電源	15~24Vdc
	數字輸出	RS485/RS232、Modbus、profibus、Devicnet等協議
	電氣連接	DB9

產品咨詢

上一篇：ACU20FE-LH科里奧利科氏力臨界流體質量流量計及控制器
下一篇：ACU20FE-LH顯示屏科氏/科里奧利質量流量控制器/流量計

自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：